本发明属于精密合金生产技术领域，涉及一种FMM掩模用铁镍基精密合金材料及合金带材，并进一步公开其冶炼工艺。本发明所述FMM掩模用铁镍基精密合金材料及合金带材，通过在铁镍基合金材料基础上添加稀土元素提高了精密合金带材的纯净度，降低夹杂物和气体含量。本发明所述合金材料加工的合金带材可满足FMM掩模版的加工要求。本发明所述FMM掩模用铁镍基精密合金材料的冶炼工艺，通过对冶炼工艺各步骤的精确控制，有效保障了合金材料及合金带材的加工性能。