本发明属于精密合金生产技术领域，涉及一种FMM掩模用铁镍基精密合金材料及合金带材，并进一步公开其冶炼方法。本发明所述FMM掩模用铁镍基精密合金材料及合金带材，通过在铁镍基合金材料基础上添加钴和铜稳定了合金组织，添加稀土元素提高了精密合金材料的纯净度，降低夹杂物，气体含量和组织缺陷，合金材料加工的带材可满足FMM掩模版的加工要求。本发明所述FMM掩模用铁镍基精密合金材料的冶炼方法，通过对冶炼方法各步骤的精确控制，有效保障了合金材料及合金带材的加工性能。